等離子清洗機(jī)對(duì)晶圓的預(yù)處理

時(shí)間：2022-05-25作者：煙臺(tái)金鷹科技有限公司瀏覽：154

等離子清洗機(jī)用于晶圓級(jí)封裝的預(yù)處理，去除表面礦物質(zhì)，減少氧化層，增加銅表面粗糙度，plasma等離子清洗機(jī)能通過(guò)等離子產(chǎn)生的自由基將高分子聚合物去除干凈，包括在很深且狹窄尖銳的溝槽里的聚合物。而且能將很深洞中或其他很深地方將光刻膠的殘留物去除掉.




等離子清洗機(jī)的表面處理能夠去除表面光刻膠和其余**物，也可以通過(guò)等離子活化和粗化作用，對(duì)晶圓表面進(jìn)行處理，能有效提高其表面浸潤(rùn)性。相比于傳統(tǒng)的濕式化學(xué)方法，等離子體清洗機(jī)干式處理的可控性強(qiáng)，一致性好，并且對(duì)基體沒(méi)有損害。等離子清洗機(jī)能有效去除表面殘膠。


等離子清洗機(jī)不能去除碳和其它非揮發(fā)性金屬或金屬氧化物雜質(zhì)。等離子清洗機(jī)用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應(yīng)系統(tǒng)中通入少量的氧氣,在強(qiáng)電場(chǎng)作用下,使氧氣產(chǎn)生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發(fā)性氣體狀態(tài)物質(zhì)被抽走。等離子清洗機(jī)在去膠工藝中具有操作方便、表面干凈、無(wú)劃傷、有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量等優(yōu)點(diǎn),而且等離子清洗機(jī)不用酸、堿及**溶劑等。等離子體清洗機(jī)處理芯片和封裝載板，不僅能獲得清潔的焊接表面，還可以大大提高焊接表面的活性，有效防止虛焊，減少空洞，提高填料的邊緣高度和包容性，提高封裝的機(jī)械強(qiáng)度，減少不同材料的熱膨脹系數(shù)在界面之間形成的內(nèi)應(yīng)剪切力，


等離子清洗機(jī)對(duì)晶圓光刻膠的應(yīng)用：等離子應(yīng)用包括處理、灰化光刻膠、聚合物去除、介電質(zhì)刻蝕等等。使用等離子清洗機(jī)不僅去除光刻膠和其他**物，而且活化晶圓表面，提高晶圓表面浸潤(rùn)性。只需要通過(guò)等離子清洗設(shè)備的簡(jiǎn)單處理，就能將自由基將高分子聚合物清除干凈，包括在很深且狹窄尖銳的溝槽里的聚合物。達(dá)到其他清理方式很難完成的效果


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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 等離子清洗機(jī)設(shè)備之清洗概念

  等離子體清洗設(shè)備之清洗概念plasma?等離子清洗機(jī)是通過(guò)常壓或真空環(huán)境下產(chǎn)生的等離子體，對(duì)材料表面進(jìn)行清洗、活化，刻蝕等處理，以獲得潔凈、有活性的表面，增加了產(chǎn)品的耐用性，同時(shí)為后道的工續(xù)（例如印刷、粘接、貼全、封裝）提供良好的界面狀態(tài)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、航空航天技術(shù)、PCB電路板、LCD、LED產(chǎn)業(yè)，光伏太陽(yáng)能、手機(jī)通訊、光學(xué)材料，汽車制造，納米技術(shù)、生物醫(yī)療等領(lǐng)域。等離子清

• 等離子清洗機(jī)增強(qiáng)邦定性

  等離子處理機(jī)不但可以進(jìn)行表面清洗，重要的是可以提高表面活性，等離子體與物體表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)能夠產(chǎn)生活性化學(xué)集團(tuán)，應(yīng)用范圍很廣，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，邦定性，親水性等等很多方面。利用等離子體技術(shù)對(duì)這些材料進(jìn)行表面處理，在高速高能等離子體的轟擊下，很大限度地發(fā)揮這些材料的結(jié)構(gòu)表面，在材料表面形成活性層，使橡膠、塑料能夠打印、粘合、涂層等操作。

• 等離子處理設(shè)備，fpc軟板清洗

  等離子清洗機(jī)用于印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污,軟板、軟硬結(jié)合板等離子表面清潔、去鉆污，軟板補(bǔ)強(qiáng)前活化。plasma等離子清洗機(jī)應(yīng)用于FPC軟板可提升產(chǎn)品刻蝕性能使用，等離子清洗設(shè)備清洗芯片表面的光刻膠，去除表面殘留物，有效提高表面的潤(rùn)濕性。等離子清洗機(jī)存在工藝簡(jiǎn)單、操作方便、無(wú)廢棄物處理和環(huán)境污染等問(wèn)題。半導(dǎo)體晶片的有效清洗和表面活性劑的清洗有利于保證產(chǎn)品質(zhì)量。等離子清洗

• 供水處理系統(tǒng)水處理設(shè)備

  分質(zhì)供水即采用二條供水管路，一路供生活用水--自來(lái)水，一路供應(yīng)直接飲用水。直接飲用水是采用反滲透技術(shù)將水源進(jìn)行凈化處理，通過(guò)食品級(jí)環(huán)保健康水管和閉路特殊管網(wǎng)直接供應(yīng)到用戶家中的飲用凈水。小區(qū)高層、多層住宅樓飲水供應(yīng)采用"雙管入戶、分質(zhì)供水"是一種較為方便有效的形式，主要內(nèi)容是地面(多層樓)或樓頂(高層樓)建造純凈水集中供水站，裝備一套反滲透純凈水制水設(shè)備。制水設(shè)備生產(chǎn)的純凈水先送入大型不銹鋼儲(chǔ)水罐