凈化車間的等級和含義
凈化車間是對空間內(nèi)空氣中的微粒做到控制,所構(gòu)造的特殊封閉性建筑??傮w來說,凈化車間也會對溫濕度、氣流運動模式、與震動噪音等環(huán)境因素做控制。凈化車間對等級的不同,對一定空間內(nèi)的微塵粒子容許量有一定規(guī)范,在**標準中分為ISO-14644,ISO-14644的等級定義。這里所指的微粒塵埃是肉眼無法看見的灰塵及粒子,一般空氣清凈機無法完全清除之灰塵。凈化車間一般分為電子、精密工業(yè)用(ICR);及需控制微生物濃度等制藥、食品產(chǎn)業(yè)用。
在JIS 標準中,凈化車間清潔度,分8 個等級,通常清潔度是指空氣的潔凈等級,分為1到8 個階段。在1 立方公尺的空氣中,粒徑0.1 微米的灰塵若是在10 個以下時為1;百個以下是100=102 是等級2;千個以下時是1000=103 等級3,以此類推。21 世紀,科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革,凈化車間設(shè)立的必要性也相對地提高。產(chǎn)品逐漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對產(chǎn)品的完成度同樣造成較大的危害,導(dǎo)致品質(zhì)下降,隨著產(chǎn)品的高品質(zhì)要求,環(huán)境無塵化的要求也越來越高。因此在凈化車間中用防塵材料及產(chǎn)品都顯得非常重要。凈化車間屬于人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠**一般的環(huán)境,隨著集成電路的級數(shù)的快速成長,也增加了對制造環(huán)境(凈化車間)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產(chǎn)品的制作或降低其壽命。**納米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒較*使芯片失效或可靠度下降。例如當金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時,就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。
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詞條說明
無塵車間(潔凈室)等級大體可以分為十萬級、萬級、千級、百級、十級。數(shù)字越小,潔凈等級越高。10級的潔凈室凈化工程主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。百級潔凈室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等,這一潔凈室凈化工程大量應(yīng)用于,手術(shù)室,包括移植手術(shù),集成器的制造、隔離病房等等。注意控制污染源,主要是人和進入無塵車間的物品,以及生產(chǎn)過程中發(fā)生的塵粒。人凈路線和物凈路線要合理的分開。人員在進車間前沐浴較衣,著
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凈化車間共有五部分組成:1、隔間凈化車間隔間分為三大部分,較衣室,千級區(qū)和百級區(qū),較衣室與千級區(qū),千級區(qū)和百級區(qū)均設(shè)風(fēng)淋室(airshower),凈化車間與室外設(shè)有物品出入通道傳遞箱(passbox).當人員進入凈化車間時,首先要經(jīng)過風(fēng)淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入凈化車間的灰塵.傳遞箱則是對物品灰塵進行吹淋,達到落塵的效果。2、風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)系統(tǒng)流程圖系統(tǒng)采用的是全新風(fēng)空調(diào)箱+FFU&nbs
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